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 型號(hào) Hydra-Dry

HYDRA-Dry

超高純壓力傳感器

應(yīng)用

·         半導(dǎo)體工業(yè)

·         UHP液體化學(xué)品輸配系統(tǒng)

功能特性

·         獲得專利的雙膜片設(shè)計(jì)

·         完全干燥：非金屬陶瓷傳感器，無充液

·         接液部件材質(zhì)為氟烷氧基 (PFA)

·         傳感器即使在安裝后也可以270°旋轉(zhuǎn)

·         防護(hù)等級(jí)高達(dá)IP 65或IP 67

·         可選：HYDRA-Indicator型面板安裝式或集成式顯示器

描述

HYDRA-line系列產(chǎn)品
HYDRA-line系列壓力測(cè)量儀表是我們和知名半導(dǎo)體企業(yè)（威卡客戶）聯(lián)合開發(fā)而成。所有該系列產(chǎn)品都滿足過程設(shè)備和UHP化學(xué)品輸配系統(tǒng)的特殊應(yīng)用要求。

HYDRA-Dry壓力傳感器具有高精度、高可靠性、超潔凈的接液部件和表面。產(chǎn)品沒有使用充液，不會(huì)造成污染。

此外，所有接液部件的生產(chǎn)、清潔組件的裝配、校驗(yàn)和包裝均是在100級(jí)無塵室中完成的。

雙重安全
獲得專利的HYDRA雙膜片系統(tǒng)可以安全可靠地將壓力傳感器與工作介質(zhì)隔離開。此外，該型號(hào)產(chǎn)品還會(huì)將HF或HCI蒸汽等擴(kuò)散介質(zhì)排到外部環(huán)境中，從而可防止造成錯(cuò)誤的測(cè)量結(jié)果或破壞傳感器元件。